叮当号5月10日消息，近日，一则"上海微电子28nm浸没式DUV光刻机完成首批批量交付"的消息刷屏半导体圈。 对此，芯智讯发布文章辟谣，直指该消息存在多处严重事实错误。 文章首先质疑了报道的信源问题。该报道仅以"据报道"含糊...